一种二维微位移平台测量系统的研究

• 作者: 吴仲城 孟明 沈春山 申飞 石振 葛运建 马静华
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微位移 应变式 微处理器
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 739-741,744
• 页数: 4页
• 分类号: TP223|TH7
• 字数: 2370字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2005.04.015

摘要

微位移测量已经广泛应用于精密测量领域中,实现微位移测量最关键的环节在于精确的定位和精细的运动.文章设计了一种基于应变方式进行二维微位移(纳米级)测量的系统,详细阐述了该系统主要组成部分:微位移检测传感器、处理电路及相关系统软件.实验结果表明该系统可以满足二维微(纳米级)测量的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟明	科学院合肥智能机械研究所	34	359	13.0	17.0
3	马静华	科学院合肥智能机械研究所	1	6	1.0	1.0
7	葛运建	科学院合肥智能机械研究所	1	6	1.0	1.0
8	吴仲城	科学院合肥智能机械研究所	1	6	1.0	1.0
11	沈春山	科学院合肥智能机械研究所	1	6	1.0	1.0
12	申飞	科学院合肥智能机械研究所	1	6	1.0	1.0
13	石振	科学院合肥智能机械研究所	1	6	1.0	1.0