CoNbZr非晶软磁薄膜晶化动力学研究

• 作者: 唐晓莉 张怀武 文歧业 杨争 蒋向东 钟智勇
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 晶化动力学 纳米晶 软磁薄膜
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 200-202
• 页数: 3页
• 分类号: TG139.8
• 字数: 2522字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2005.02.012

摘要

采用DSC热分析技术,结合XRD、TEM和AFM实验,对磁控溅射制备的Co85.5Nb8.9Zr5.6非晶合金软磁薄膜进行了变温和等温晶化动力学的研究.研究结果表明:升温晶化时,薄膜的晶化的表观激活能为99.82kJ/mol;局域激活能随晶化度增加;在等温晶化过程中,平均激活能为88.51kJ/mol,Avrami指数1.17～1.39,晶化行为主要是一维表面晶化,晶核长大受扩散控制的过程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张怀武	电子科技大学微电子与固体电子学院	294	2211	20.0	32.0
2	蒋向东	电子科技大学微电子与固体电子学院	34	154	6.0	10.0
3	唐晓莉	电子科技大学微电子与固体电子学院	38	272	10.0	15.0
4	文歧业	电子科技大学微电子与固体电子学院	6	22	2.0	4.0
5	钟智勇	电子科技大学微电子与固体电子学院	56	359	10.0	15.0
6	杨争	四川大学分析测试中心	16	173	8.0	12.0