用电化学腐蚀法制备氧化多孔硅波导定向耦合器

• 作者: 地里木拉提·土尔逊 李芮 涂楚辙 贾振红
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化多孔硅 波导 定向耦合器
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 激光器件与元件
• 页码范围: 11-12
• 页数: 2页
• 分类号: TN248.1
• 字数: 2299字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2005.01.005

摘要

用一种聚合物材料薄膜作为掩膜,通过在电化学腐蚀过程中控制腐蚀电流和时间,首次制备出了氧化多孔硅波导定向耦合器.实验中用波长为980nm的激光作为信号光源,观测到了样品的耦合光信号.给出了耦合器耦合系数不确定的因素,同时也分析了多孔硅波导传输损耗形成的原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾振红	新疆大学信息科学与工程学院	286	1621	18.0	28.0
2	涂楚辙	新疆大学信息科学与工程学院	16	46	4.0	6.0
3	李芮	新疆大学信息科学与工程学院	6	23	3.0	4.0
4	地里木拉提·土尔逊	新疆大学信息科学与工程学院	3	5	2.0	2.0