高温AlGaInP/GaAs双异质结双极晶体管

• 作者: 刘文超 夏冠群 李冰寒 黄文奎
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: AlGaInP/GaAs 双异质结双极晶体管 Mo/W/Ti/Au 直流特性
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 756-759
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2+6
• 字数: 1291字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.04.024

摘要

利用Mo/W/Ti/Au难熔金属作为发射极欧姆接触设计并制作了一种用于功率放大器的新结构AlGaInP/GaAs双异质结双极晶体管(DHBT),分析了与传统AuGeNi作为接触电极的AlGaInP/GaAs DHBT的直流特性差异.研究结果表明,利用难熔金属作为欧姆接触电极的DHBT器件具有较好的高温特性,并进一步分析了其具有良好高温特性的机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏冠群	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	61	307	9.0	16.0
2	刘文超	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	13	105	4.0	10.0
3	李冰寒	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	6	21	2.0	4.0
4	黄文奎	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	4	9	2.0	3.0