具有多运动自由度的新型多功能微镜

• 作者: 余洪斌 陈海清
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微镜 相位调制 强度调制 T型梁
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 816-820
• 页数: 5页
• 分类号: TN303
• 字数: 2085字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.04.036

摘要

基于多层硅表面微加工技术,设计并制造了一种全新的微镜结构,它由底电极层、支撑层和镜面层构成.支撑层采用对称布置的双T型梁结构,能提供垂直方向的平动和绕两水平轴的转动,从而实现微镜对入射光的强度调制和相位调制功能.测试结果表明,微镜能获得最大2μm的平动范围,同时其绕两水平轴的转动角度分别为±2.3°和±1.45°.此外,通过进一步增大牺牲层的厚度,可以很容易地使微镜获得更大的变形范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈海清	华中科技大学光电子工程系	95	682	14.0	18.0
2	余洪斌	华中科技大学光电子工程系	23	160	8.0	11.0