中频溅射技术制备镱铒共掺Al2O3光波导

• 作者: 宋昌烈 宋琦 李国卿 李建勇 李成仁 李淑凤 高景生
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 中频溅射 镱铒共掺 光致发光光谱 光波导
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 材料和元件
• 页码范围: 440-442,445
• 页数: 4页
• 分类号: TN252
• 字数: 3286字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2005.04.005

摘要

在硅单晶(100)衬底上用热氧化法氧化一层SiO2做缓冲层,在高纯铝靶上镶嵌金属Yb,Er,然后用中频磁控溅射法制备了镱铒共掺杂氧化铝薄膜.讨论了靶电压及沉积速率随氧流量的变化的磁滞回线效应,分析得出了沉积氧化物薄膜的最佳氧流量.在室温下检测到了薄膜的位于1535nm的很强的光致发光光谱(PL),并在光学掩模下用BCl3离子束对薄膜样品进行刻蚀,得到条形光波导.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李淑凤	大连理工大学物理系	36	296	11.0	15.0
2	李成仁	大连理工大学物理系	26	242	11.0	14.0
3	宋昌烈	大连理工大学物理系	31	319	12.0	16.0
4	高景生	大连理工大学物理系	7	62	4.0	7.0
5	李国卿	大连理工大学物理系	58	411	12.0	16.0
6	宋琦	大连理工大学物理系	12	66	5.0	7.0
7	李建勇	大连理工大学物理系	9	54	5.0	7.0