脉冲激光法淀积MgO薄膜及其结晶性能的研究

• 作者: 于伟东 张霞 李效民 陈同来 高相东
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光淀积 MgO薄膜 硅衬底 RHEED
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1475-1480
• 页数: 6页
• 分类号: O482
• 字数: 3473字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2005.06.033

摘要

研究了脉冲激光淀积MgO薄膜的过程中,制备工艺参数对薄膜结晶性的影响.研究发现,MgO薄膜的结晶性主要受控于衬底温度和激光能量密度,而薄膜的生长速率则依赖于脉冲频率、衬底与靶材间的距离以及激光能量密度.通过对比不同靶材,即金属Mg靶和烧结陶瓷MgO靶,对薄膜结晶性的影响,发现通过添加一层TiN籽晶层可以显著改善薄膜的结晶质量.最后在优化的制备工艺参数:衬底温度Ts=873K,激光能量密度DE=7J/cm2,靶材与衬底间距离DsT=70mm,激光脉冲频率FL=5Hz以及采用烧结陶瓷MgO靶材和添加TiN籽晶层的情况下,获得层状生长模式和表面具有原子级平整度的MgO薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张霞	中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室	109	2111	26.0	41.0
2	高相东	中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室	14	108	7.0	10.0
3	李效民	中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室	24	197	10.0	13.0
4	于伟东	中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室	18	118	7.0	10.0
5	陈同来	中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室	3	34	2.0	3.0