基于电流变效应的超精密工件台研究与展望

• 作者: 朱煜 陈亚英
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密工件台 电流变液ERF 半主动阻尼
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(半导体先进加工设备)
• 页码范围: 11-12,17
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.7|TH112
• 字数: 2846字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2005.03.004

摘要

通过分析超精密工件台系统的研究现状和存在问题及电流变液ERF的机理和应用现状,提出"基于ERF半主动阻尼的直线电机驱动-气浮/磁浮导轨"纳米级超精密工件台系统.介绍了国内外相关研究,分析了此工件台系统具有的特性及尚待解决的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱煜	清华大学精仪系制造所	99	1312	17.0	33.0
2	陈亚英	清华大学精仪系制造所	4	23	3.0	4.0