MEMS传感器原理与结构简析

• 作者: 孔令纲 沈景春
• 来源期刊: 石油石化节能
• 关键词: MEMS加速度传感器 质量体灵敏度
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: 设备与自动化
• 页码范围: 36-37
• 页数: 2页
• 分类号: TE9
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1493.2005.10.011

摘要

尽管常规地震检波器发展已有50年的历史,体积变得很小,灵敏度很高,并且较好地压制地面噪声,但MEMS加速度传感器仍然以其直接的数字输出、高的矢量保真度和良好的低频响应,逐渐成为新世纪地球物理勘探技术发展中的重要角色.文章对MEMS传感器进行了概述,对其结构与工作原理进行了简要分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孔令纲		3	57	3.0	3.0
2	沈景春		1	14	1.0	1.0