微电铸及其在MEMS中的应用

• 作者: 吕文龙 孙道恒 陈义华
• 来源期刊: 厦门大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微电铸 脉冲 镍 悬臂梁
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 信息科学与技术
• 页码范围: 316-318
• 页数: 3页
• 分类号: TQ153.4
• 字数: 2753字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0438-0479.2005.z1.076

摘要

研究了微电铸在MEMS结构层制造工艺中的可行性并搭建了微电铸实验系统,通过对不同Watts镍电解液的成分实验得到了一组性能较好的成分配比.通过晶种层材料的实验得出Ti-Cu作为晶种层材料的优点.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等,得到了一组比较有价值的电铸参数,并对电铸中存在的问题进行了阐述.实验结果表明,采用方波脉冲电铸能够得到晶粒粗细均匀、硬度和应力符合设计要求的悬臂梁等MEMS结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕文龙	厦门大学机电工程系	8	63	5.0	7.0
2	孙道恒	厦门大学机电工程系	81	618	14.0	21.0
3	陈义华	厦门大学机电工程系	3	24	2.0	3.0