软刻蚀复制技术制作聚合物微透镜阵列

• 作者: 史锡婷 张坤 易新建 赖建军 赵悦
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 微透镜 聚合物 紫外模塑 软刻蚀
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 材料及工艺
• 页码范围: 111-114
• 页数: 4页
• 分类号: TN25
• 字数: 2437字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2005.z1.032

摘要

介绍了利用软刻蚀紫外模塑技术制作复制聚合物折射和衍射微透镜阵列的工艺过程.实验过程和测试结果表明,聚二甲基硅氧烷(PDMS)模具可以完好地将母版上的微透镜阵列复制到硅或玻璃材料上的光敏胶上,并可多次使用,且母版无损伤.此技术具有速度快,工艺简单的特点,可用于微透镜与图像传感器的单片集成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	易新建	华中科技大学光电子工程系	102	1261	21.0	29.0
2	赖建军	华中科技大学光电子工程系	30	317	10.0	16.0
3	史锡婷	华中科技大学光电子工程系	4	34	3.0	4.0
4	张坤		12	64	6.0	7.0
5	赵悦	华中科技大学光电子工程系	9	32	3.0	5.0