冷光源检测晶片键合质量的实现

• 作者: 任晓敏 孙慧姝 王琦 陈斌 马如兵 黄永清 黄辉
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 晶片键合 红外透射 冷光源
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 技术专栏
• 页码范围: 13-15
• 页数: 3页
• 分类号: TN405.96
• 字数: 1118字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2005.04.005

摘要

利用红外透射原理,即根据键合晶片中键合部分可以透光而未键合部分几乎不能透光的原理,同时采用冷光源的独特方法构建了键合质量测试平台以用于初步筛选符合下一步工艺探索的高质量键合晶片.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄永清	北京邮电大学光通信中心	196	987	13.0	18.0
2	任晓敏	北京邮电大学光通信中心	189	942	13.0	18.0
3	黄辉	北京邮电大学光通信中心	59	282	10.0	12.0
4	王琦	北京邮电大学光通信中心	82	480	13.0	19.0
5	陈斌	北京邮电大学光通信中心	27	158	7.0	10.0
6	马如兵	北京邮电大学光通信中心	2	5	2.0	2.0
7	孙慧姝	北京邮电大学光通信中心	1	3	1.0	1.0