c面白宝石衬底表面形貌对气相传输平衡法制备的γ-LiAlO2层质量的影响

• 作者: 刘世良 周国清 周圣明 干福熹 庄漪 彭观良 徐军 李抒智 王银珍 邹军
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 白宝石 γ-LiAlO2 气相传输平衡 GaN 衬底
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 页码范围: 833-837
• 页数: 5页
• 分类号: O771
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2005.05.014

摘要

采用气相传输平衡(VTE)技术,在(0001)面白宝石衬底表面上成功地制备出单相γ-LiAlO2层.研究了白宝石衬底表面形貌对γ-LiAlO2层质量的影响,发现白宝石衬底的表面粗糙度和退火处理是两个影响γ-LiAlO2层质量的重要因素.要制备高质量的γ-LiAlO2层,适度的表面粗糙度是恰当的.对白宝石衬底进行退火处理,γ-LiAlO2层的择优取向变差.并对其中可能的机理进行了探讨.