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株冶集团博士后工作站ITO靶材研究取得突破
株冶集团博士后工作站ITO靶材研究取得突破
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ITO靶材
工作站
博士后
技术中心
科技发展
热等静压
集团公司
50毫米
理论密度
长时间
圆柱体
实验
摘要:
经过长时间的精心准备,在株冶集团技术中心、科技发展部和ITO事业部等有关单位和领导的大力支持和协助下,株冶集团公司博士后工作站于近日完成了首次中型ITO靶材的热等静压实验,实验结果令人鼓舞。此次压出的ITO靶材是一个非常完整的圆柱体,其直径为200毫米,高150毫米。样品的平均实测密度达7.10克/每平方厘米,为理论密度的99%以上。
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文献信息
篇名
株冶集团博士后工作站ITO靶材研究取得突破
来源期刊
中国铅锌锡锑
学科
经济
关键词
ITO靶材
工作站
博士后
技术中心
科技发展
热等静压
集团公司
50毫米
理论密度
长时间
圆柱体
实验
年,卷(期)
2005,(4)
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研究方向
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52
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1页
分类号
F273.1
字数
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2005(0)
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50毫米
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