单悬臂梁结构的GaAs基MOEMS可调谐RCE光探测器

• 作者: 任晓敏 吴荣汉 周震 杜云 杨晓红 韩勤 黄永清
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: GaAs MOEMS RCE 光探测器 调谐 单悬臂梁
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 1087-1093
• 页数: 7页
• 分类号: TN36
• 字数: 516字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.06.004

摘要

成功研制了GaAs基MOEMS可调谐RCE光探测器.该器件采用单悬臂梁结构,在6V的小调谐电压下,获得了31nm的连续调谐范围.在调谐过程中,峰值量子效率最大为36.9%,最小为30.8%;FWHM最大为20nm,最小为14nm.在0V偏压下器件的暗电流密度为7.46A/m2.