液相外延HgCdTe薄膜组分均匀性对红外透射光谱的影响

• 作者: 何力 杨建荣 王庆学 魏彦锋
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多层模型 膜系传递矩阵 HgCdTe外延薄膜 纵向组分分布 横向组分波动
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 904-909
• 页数: 6页
• 分类号: TN04
• 字数: 3259字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.05.011

摘要

用多层模型和膜系传递矩阵计算了HgCdTe/CdZnTe外延薄膜的红外透射光谱,结果表明组分扩散区主要影响透射光谱的干涉条纹和透射率小于10%的区域,而组分梯度区则影响吸收边斜率.横向组分波动也将影响透射光谱的吸收边斜率,当组分均方差小于0.005时,横向组分波动对透射光谱影响可以忽略.用新的组分分布模型计算了HgCdTe/CdZnTe液相外延薄膜的理论透射光谱,并运用非线性二乘法使理论曲线能够很好地与实验结果吻合,从而获得了更加可信的HgCdTe外延薄膜的纵向组分分布和厚度参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王庆学	中国科学院上海技术物理研究所半导体材料与器件研究中心	14	65	5.0	7.0
2	魏彦锋	中国科学院上海技术物理研究所半导体材料与器件研究中心	22	117	6.0	9.0
3	杨建荣	中国科学院上海技术物理研究所半导体材料与器件研究中心	38	175	7.0	11.0
4	何力	中国科学院上海技术物理研究所半导体材料与器件研究中心	54	417	13.0	17.0