考虑微磁芯磁阻的分布参数微梁执行器小信号宏模型

• 作者: 方玉明 李伟华 黄庆安
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多级曲折磁芯微梁执行器 力-磁耦合 宏模型 悬壁梁
• 年，卷（期）: 2005,（8）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1599-1604
• 页数: 6页
• 分类号: TN402|TN405
• 字数: 3665字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.08.024

摘要

以多级弯曲磁微梁执行器为研究对象,先采用梁的模态函数线性组合来逼近梁的变形曲线,然后利用磁路定律,考虑了在宏观磁执行器中忽略的磁芯磁阻,建立了考虑力-磁耦合的非线性方程组,克服了以往的磁微执行器模型不能考虑力-磁耦合,而且忽略磁芯磁阻的缺点.计算结果与实验数据及有限元计算结果对比表明,文中的模型有足够的精度,可以作为宏模型使用.