IC检测的图像预处理及芯片定位

• 作者: 廖广军 张浩 戚其丰 胡跃明
• 来源期刊: 计算机测量与控制
• 关键词: 全自动上芯机 图像预处理 芯片定位 图像相似性测量法
• 年，卷（期）: 2005,（12）
• 所属期刊栏目: 自动化测试
• 页码范围: 1315-1317
• 页数: 3页
• 分类号: TP23
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4598.2005.12.006

摘要

全自动上芯机是用于芯片生产后工序的关键设备之一,机器视觉伺服系统是提高该设备产能和质量的关键系统,而图像预处理和芯片定位是其机器视觉的关键技术之一.为了消除采集图像与真实图像之间的差异,实现芯片精确定位,采用中值滤波算法和直方图算法实现图像的去噪和增强,并分析了图像相似性测量算法实现快速模板匹配.实验结果证明了算法的有效性和可靠性,为进一步提高芯片缺陷检测的精度提供了保障.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡跃明	华南理工大学自动化科学与工程学院	147	1905	22.0	37.0
2	戚其丰	华南理工大学自动化科学与工程学院	24	216	8.0	14.0
3	张浩	华南理工大学自动化科学与工程学院	23	313	9.0	17.0
4	廖广军	华南理工大学自动化科学与工程学院	3	25	3.0	3.0