共面波导结构MEMS滤波器的设计

• 作者: 李应良 赵继德 马传龙
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 MEMS 滤波器 共面波导 阻带
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 38-41
• 页数: 4页
• 分类号: TN731
• 字数: 2190字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2005.02.013

摘要

设计了一种基于共面波导结构的MEMS带阻滤波器.利用计算机软件HFSS模拟出滤波器的带阻中心频率约为22 GHz、损耗19.86 dB、阻带宽度为5 GHz,而设计大小仅为1 000 (m(1 100 (m(400 (m.只需改变设计参数,即可获取其它频段的带阻滤波器.该滤波器具有阻带高、插入损耗低、尺寸微小、加工容易等特点.在微尺寸条件下分析了滤波器结构的热应力特性,利用大型有限元软件ANSYS模拟表明在-50～+80℃的温度范围内,结构不会产生变形,表明了器件有良好的可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵继德	烟台师范学院物理与电子工程学院	17	81	5.0	8.0
2	李应良		8	32	3.0	5.0
3	马传龙		13	24	3.0	4.0