微机电系统的机械学特性研究

• 作者: 曾纪杰 赵运才
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 基本特征 机械学特性
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 综述与分析
• 页码范围: 147-149,162
• 页数: 4页
• 分类号: TH11
• 字数: 4637字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2005.03.054

摘要

目前微机电系统的研究成果主要侧重于制造加工工艺方面,而对微机电系统机械学特性的系统研究则显缺乏.在概述微机电系统发展状况的基础上,归结分析了微机电系统在组成结构、材料特性以及力学行为等方面异于宏观机械的一些新特征,并探讨了微机电系统的机械学特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾纪杰	湖南理工学院机电系	17	131	7.0	11.0
2	赵运才	中南大学机械工程学院	9	116	6.0	9.0