表面粘连效应对接触式微开关接触电阻的影响

• 作者: 黄庆安 黄见秋
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微开关 MEMS 接触电阻 粘连效应
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1229-1233
• 页数: 5页
• 分类号: TN43
• 字数: 3380字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.06.032

摘要

建立了一个微开关接触电阻模型.模型将粗糙的触头表面理想化为多微丘结构,并考虑了表面粘连效应,给出了接触电阻与接触力之间的变化关系.结果显示,在低接触力下,粘连效应十分重要.粘连模型与Majumder等人所建立的模型以及实验值的比较结果表明,粘连效应可以用来解释弹性模型与实验之间的偏差.