多驱动电极垂直限幅振动式微型电场传感器

• 作者: 夏善红 白强 邓凯 陈绍凤 陶虎 龚超
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 电场传感器 微机电系统 驱动模式
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 51-55
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 3332字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2005.01.013

摘要

设计了一种具有四个驱动电极和独特支撑结构并基于MEMS技术制作的微型电场传感器.该传感器的四个驱动电极具有完全相同的形状,在使用时可以将其中的两个用作驱动,另外两个作为振动检测电极,监控振动情况.传感器的支撑结构可以限制振动幅度,使传感器在脉冲信号驱动下也能稳定工作.因此该电场传感器除了具备其它微型电场传感器的优点以外,还可以根据应用场合的需要选择不同的驱动模式.从而可以根据具体应用的要求,使用较简单的测试系统减轻重量,或使用较复杂的测试系统提高测试的精度和稳定性.本文介绍了此种传感器的结构,工作原理以及三种不同的驱动模式的实现方法,并讨论了不同模式的应用场合.