微机电系统的构成及其关键技术

• 作者: 李刚炎 杨红军
• 来源期刊: 机械
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 构成 关键技术
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-3,17
• 页数: 4页
• 分类号: TP271+.4
• 字数: 3562字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-0316.2005.01.001

摘要

微机电系统技术是当前机械工程研究的前沿技术之一,是21世纪最有前途的产业之一.概述了微机电系统的定义与构成,讨论了微机电系统的一些关键技术,并对微机电系统的发展前景作了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李刚炎	武汉理工大学机电工程学院	203	1051	15.0	24.0
2	杨红军	武汉理工大学机电工程学院	5	45	4.0	5.0