基于半球支承的静电悬浮方法

• 作者: 吴秋平 韩丰田
• 来源期刊: 东南大学学报（自然科学版）
• 学科: 交通运输
• 关键词: 静电支承 静电平衡 数字控制器 球形转子
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 553-557
• 页数: 5页
• 分类号: U666.12
• 字数: 4576字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-0505.2005.04.013

摘要

提出了一种基于半球静电支承的静电悬浮方法,该方法既可任意调节转子与电极之间的间隙,又便于观测转子的摆动情况,从而实现高精度球形转子的平衡测量.通过计算半球静电支承下球形转子与电极之间的间隙,导出了静电力与间隙的关系.在分析了半球静电支承特性的基础上,将其工作状态分为起支和支承2种状态,并设计了相应的数字控制器,保证系统可靠悬浮.试验结果表明,半球静电支承系统能稳定工作,可以满足高精度球形转子平衡测量的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩丰田	清华大学精密仪器与机械学系	48	263	9.0	12.0
2	吴秋平	清华大学精密仪器与机械学系	34	151	7.0	10.0