一种小型相位光栅干涉式(PGI)微位移传感器

• 作者: 王选择 肖刚 谢铁邦
• 来源期刊: 计量技术
• 关键词: 传感器 表面形貌 相位光栅干涉 微位移测量
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 7-9
• 页数: 3页
• 字数: 1702字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2005.01.003

摘要

本文在已有的研究成果基础之上,介绍了一种小型相位光栅干涉式(Phase Grating Interference)微位移传感器,该传感器具有大量程、高分辨力的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢铁邦	华中科技大学机械学院仪器系	92	848	17.0	24.0
2	王选择	华中科技大学机械学院仪器系	12	170	7.0	12.0
3	肖刚	华中科技大学机械学院仪器系	6	38	4.0	6.0