薄膜残余应力有限元分析研究

• 作者: 凌宁 张云洞 张耀平 许鸿
• 来源期刊: 激光与光电子学进展
• 学科: 工学
• 关键词: 残余应力 薄膜 有限元
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: 理论与研究
• 页码范围: 23-26,22
• 页数: 5页
• 分类号: TN2
• 字数: 2108字
• 语种: 中文

摘要

利用有限元软件对薄膜残余应力进行了分析与计算,并与理论计算结果进行对比,说明所建立的模型是合理的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许鸿	中国科学院光电技术研究所	9	75	6.0	8.0
5	张耀平	中国科学院光电技术研究所	9	64	5.0	8.0
9	凌宁	中国科学院光电技术研究所	64	929	17.0	27.0
10	张云洞	中国科学院光电技术研究所	45	372	10.0	16.0