S型双声路声表面波质量传感器

• 作者: 朱大中 章安良
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波传感器 质量沉积效应 多条耦合器
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 声表面波技术
• 页码范围: 7-9,17
• 页数: 4页
• 分类号: TN722
• 字数: 2236字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2005.01.003

摘要

报道了在128°y切割X传播方向的LiNbO3基片上设计并研制的中心频率为122 MHz的S型双声路质量传感器,它能有效地克服环境温度的影响.阐述了该传感器的器件结构及设计,并采用延迟线振荡的方式对器件的性能进行测试.测试结果表明,该器件相对温度系数良好,仅约为10 Hz/℃.器件的质量沉积效应灵敏度约为3.8 GHz·crn2/g.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	章安良	宁波大学信息学院	47	92	5.0	5.0
2	朱大中	宁波大学信息学院	1	3	1.0	1.0