激光探针监测半导体器件内自由载流子浓度调制效应

• 作者: 刘志存
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉 折射率 自由载流子
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 实验技术与装置
• 页码范围: 18-19
• 页数: 2页
• 分类号: TN2
• 字数: 1661字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2005.02.009

摘要

介绍了基于自由载流子对介质折射率调制作用,而建立的监测半导体器件内自由载流子变化情况的实验装置,该装置能实时反映自由载流子变化情况,且对原电路无任何影响.本方法适用于硅和砷化镓材料的电子和光电子器件,也显示了在测量集成电路内部有源器件特性方面的潜在应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘志存	陕西师范大学物理学与信息技术学院	39	291	9.0	16.0