大行程纳米级分辨率超精密工作台的发展方向

• 作者: 张晓峰 林彬
• 来源期刊: 南京航空航天大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密工作台 纳米级分辨率 大行程
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 179-183
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 4896字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2615.2005.z1.041

摘要

讨论了大行程纳米级分辨率超精密工作台设计中的关键技术,介绍了目前国内外典型的大行程超精密操作台所采用的设计方案、材料、导轨、驱动方式、测量反馈及控制系统.分析比较后得出:利用石英陶瓷材料、气浮导轨、直线电机非接触驱动、纳米光栅尺测量反馈和开放式数控系统等技术来组建大行程纳米级分辨率超精密工作台是比较理想的方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林彬	天津大学先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室	93	970	18.0	28.0
2	张晓峰	天津大学先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室	21	217	6.0	14.0