现代超精密加工技术的概况及应用

• 作者: 周宴 周志斌 汪科 肖沙里
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密加工 精度 机床 纳米
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 121-123
• 页数: 3页
• 分类号: TH16|TG66
• 字数: 3369字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2005.01.051

摘要

对现代超精密加工技术的发展现状、地位以及在相关领域的应用进行了论述.并对超精密加工设备以及误差补偿技术方面也作了阐述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖沙里	重庆大学光电工程学院	123	988	14.0	24.0
2	周宴	重庆大学光电工程学院	6	83	3.0	6.0
3	周志斌	重庆大学光电工程学院	5	121	4.0	5.0
4	汪科	重庆大学光电工程学院	8	139	6.0	8.0