化学气相浸渗反应器内气体流场的数值模拟

• 作者: 熊翔 肖鹏 黄伯云
• 来源期刊: 中南大学学报(自然科学版)
• 学科: 航空航天
• 关键词: 有限元 气体流场 化学气相沉积 反应器 数值模拟
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 材料·矿物·冶金·化学
• 页码范围: 761-765
• 页数: 5页
• 分类号: V254.2
• 字数: 2335字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7207.2005.05.008

摘要

控制化学气相浸渗(CVI)反应器内的反应气体流场是获得理想沉积物的关键技术之一, 通过建立质量守恒、动量守恒、能量守恒和化学反应守恒4个微分方程及其边界条件, 采用有限单元法对CVI反应器中复杂且不可观察的气体流场进行数值计算. 数值计算结果表明, 喷嘴形状及其与衬底相对位置对流场形貌有显著影响. 采用π/6的斜口喷嘴, 并使其中心轴线与通过它和圆柱形衬底交点切线的夹角为π/6时, 反应器内基本消除了回流.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊翔	中南大学粉末冶金国家重点实验室	345	3793	27.0	39.0
2	黄伯云	中南大学粉末冶金国家重点实验室	607	8891	43.0	60.0
3	肖鹏	中南大学粉末冶金国家重点实验室	157	1541	19.0	30.0