溶胶-凝胶工艺制备SrTiO3纳米薄膜的研究

• 作者: 刘超 曾一平 李建平
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: SrTiO3薄膜 溶胶-凝胶工艺 纳米薄膜
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(薄膜生长技术)
• 页码范围: 18-21
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.9
• 字数: 3216字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2005.05.006

摘要

采用溶胶-凝胶方法,以醋酸锶、钛酸四丁酯为前驱体,乙酰丙酮为螯合剂,乙二醇甲醚为溶剂,乙酸为助溶剂和催化剂制备溶胶,用旋涂法在Si(100)衬底上制备出了具有典型钙钛矿型结构的SrTiO3纳米薄膜.用XRD、AFM、SEM和椭圆偏光仪等手段分析了薄膜的性能,结果显示薄膜的表面均匀、无裂纹、厚度20～30nm,折射率1.75～1.85,晶粒度35～60nm,表面平均粗糙度RMS为3.4～3.8 nm,晶粒形貌呈类圆锥形态.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建平	中国科学院半导体所材料中心	251	4235	35.0	54.0
2	曾一平	中国科学院半导体所材料中心	85	439	11.0	16.0
3	刘超	中国科学院半导体所材料中心	128	874	18.0	25.0