水热合成法制备PZT压电薄膜工艺研究

• 作者: 吕岩 杜立群 赵海波
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 水热合成法 PZT 压电薄膜 MEMS
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳加工与测试及封装技术
• 页码范围: 464-466
• 页数: 3页
• 分类号: TH703.2|TH145.11
• 字数: 2473字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.167

摘要

对水热合成法制备Pb(Zr1-xTix)O3(PZT)薄膜的原理进行了讨论,以钛、锆的醇盐和硝酸铅等为原料制备出PZT压电薄膜,利用X射线衍射对PZT压电薄膜的成分进行了分析,利用扫描电子显微镜(SEM)对PZT晶体形成过程的变化进行了分析.X射线衍射分析表明,晶体成核阶段,PbZrO3(PZ)成分较多,晶体生长阶段,PZ成分减少,PZT成分逐渐增多.2次重复生长过程后,SEM扫描图像所得为四方形PZT晶体,颗粒平均尺寸为5μm,与Shimomura和Kanda实验所得的PZT晶体颗粒在大小和形状上基本相同,为钙钛矿型结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜立群	大连理工大学精密与特种加工技术教育部重点实验室	61	480	13.0	19.0
2	吕岩	大连理工大学精密与特种加工技术教育部重点实验室	5	29	3.0	5.0
3	赵海波	大连理工大学精密与特种加工技术教育部重点实验室	2	21	2.0	2.0