量子点的原子力显微镜测试结果分析:数学形态学的实现

• 作者: 李凯 王占国 金峰 陈涌海 鲁华祥
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 数学形态学 分水岭变换 量子点检测 自动统计
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 2120-2126
• 页数: 7页
• 分类号: TN304.054
• 字数: 3873字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.11.015

摘要

提出了从原子力显微镜(AFM)照片中分割出量子点的算法,可以利用程序自动地统计照片中量子点的各种数据.该算法基于数学形态学的方法,包括三个步骤:首先根据照片中每个局部最高点的dynamics值,利用标记分水岭分割方法初步将每个量子点分开;第二步根据量子点的定义,从每个区域中提取出量子点;第三步,为了防止分割过程中将部分衬底一起提取,利用量子点的高度-面积分布,将多余衬底滤去.该算法具有快速、对噪声不敏感的特点,能准确地提取量子点的高度、横向尺寸、体积等数据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王占国	中国科学院半导体研究所材料开放实验室	101	701	15.0	23.0
2	鲁华祥	中国科学院半导体研究所神经网络实验室	46	358	8.0	17.0
3	金峰	中国科学院半导体研究所神经网络实验室	22	1166	11.0	22.0
4	李凯	中国科学院半导体研究所材料开放实验室	64	329	9.0	15.0
5	陈涌海	中国科学院半导体研究所材料开放实验室	16	40	4.0	5.0