基于MEMS共面波导腔的带阻滤波器的设计

• 作者: 李应良 赵继德 马传龙
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 射频微机电系统 滤波器 共面波导 阻带 微尺度效应
• 年，卷（期）: 2005,（8）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(化学机械抛光)
• 页码范围: 34-37
• 页数: 4页
• 分类号: TN713+.5|TN402
• 字数: 1735字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2005.08.010

摘要

应用计算机辅助设计了一种基于共面波导结构的MEMS带阻滤波器.研究了微尺度电磁学、力学、温度等效应.利用ANSOF的HFSS软件模拟分析了滤波器的损耗参数,并应用ANSYS软件分析复合结构的热应力分布,得出了阻带中心频率在18GHz的MEMS带阻滤波器件,提供了一些有意义的理论分析及应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵继德	烟台师范学院物理与电子工程学院	17	81	5.0	8.0
2	李应良		8	32	3.0	5.0
3	马传龙		13	24	3.0	4.0