灰度狭缝扫描制作多台阶光栅的工艺研究

• 作者: 徐兵 陈林森 魏国军
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光直写 灰度狭缝 色分离光栅 标量衍射理论
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 光学元器件
• 页码范围: 190-192
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2367字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2005.02.019

摘要

采用灰度狭缝进行矢量化的直写, 使平台沿着垂直狭缝的方向运动,获得了具有台阶结构的光栅槽型,编写了与DXF文件一致的接口直写控制程序.该方法对成像视场要求低,可以制作大面积光栅.以色分离光栅(CSG)为例,用标量衍射理论分析了CSG的衍射效率,讨论了工艺制作误差对衍射效率的影响,并给出了初步的实验结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈林森	苏州大学信息光学工程研究所	81	469	12.0	17.0
2	魏国军	苏州大学信息光学工程研究所	19	170	8.0	12.0
3	徐兵	苏州大学信息光学工程研究所	8	89	4.0	8.0