稀土Nd掺杂纳米SnO2薄膜气敏特性

• 作者: 吉雅图 李健 韩菲 高燕
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米 真空气相沉积 气敏特性 SnO2薄膜 Nd掺杂
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 29-31
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2505字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2005.06.011

摘要

用真空气相沉积法在玻璃衬底上制备纯SnO2和掺稀土Nd的SnO2薄膜,在500℃氧气气氛条件下进行45min热处理,获得良好的纳米SnO2薄膜和掺稀土Nd的SnO2薄膜.结果显示:掺Nd和热处理使纳米SnO2薄膜的结构、导电性能得到一定的改善.掺Nd 5%的SnO2薄膜对气体的选择性和灵敏性均得到明显的改善,其中,对丁烷的选择性、灵敏度最好,在体积分数为7.2×10-3时,灵敏度可达到340,但对乙醇、丙酮气体的敏感性较差.