喷雾热解法制备SnO2:F+Sb薄膜的结构及性能研究

• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 喷雾热解 SnO2:F+Sb薄膜 镀膜玻璃
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1429-1431,1434
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.21|TQ171.73
• 字数: 1658字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2005.09.036

摘要

采用喷雾热解法在玻璃基板上制备了SnO2:F+Sb薄膜,对薄膜的结构及性能进行了研究.用STM对薄膜表面进行表征,发现薄膜表面光滑平整,粗糙度Ra为16.283nm.四探针测试仪测定薄膜方阻为60Ω/□,电阻率为2.1×10-3Ω·Cm.用XRD表征薄膜结构,薄膜为四方相多晶SnO2结构,说明掺杂没有该变薄膜结构.对薄膜的光学性能进行了测试,可见光透过率达到80%,在2500nm处的中远红外区反射率由镀膜前的6%上升到36%.按国家标准测试了镀膜玻璃耐酸碱稳定性,实验前后薄膜的可见光透过率变化＜3%,符合国家标准.同时本研究还对镀膜玻璃的保温性能进行了测试,结果表明本实验制备的镀膜玻璃具有较好的保温性能.