应用于MEMS的PZT铁电薄膜

• 作者: 于晓 张之圣 胡明
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 铁电薄膜 PZT 微细加工技术 图形化
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 27-32
• 页数: 6页
• 分类号: TN305|TB43
• 字数: 4696字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2005.01.004

摘要

薄膜制备工艺的发展使铁电薄膜很好的应用于MEMS,使两者集成成为可能.本文将详细论述铁电薄膜的优良性能,及其与MEMS集成的关键工艺-图形化.最后,举例论述了PZT铁电薄膜在MEMS中的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡明	天津大学电子信息工程学院	139	1336	19.0	28.0
2	于晓	天津大学电子信息工程学院	4	13	2.0	3.0
3	张之圣	天津大学电子信息工程学院	57	580	15.0	21.0