VTE法制备γ-LiAlO2/α-Al2 O3复合衬底以及腐蚀和退火对其影响

• 作者: 刘世良 周圣明 彭观良 徐军 李抒智 王银珍
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: γ-LiAlO2/α-Al2O3 复合衬底 气相传输平衡 腐蚀 退火
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 250-254
• 页数: 5页
• 分类号: O793
• 字数: 2173字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2005.02.013

摘要

通过气相传输平衡法(VTE)制备了γ-LiAlO2/α-Al2O3复合衬底,使用5%的稀盐酸对其进行腐蚀并在900℃退火72h.利用X射线衍射、偏光显微镜及扫描电镜对复合衬底进行了分析,发现在白宝石a面(11-20)和γ面(1-102)均获得单相多晶的γ-LiAlO2,且后者的择优取向好于前者.腐蚀可以提高样品的择优取向,在5%的稀盐酸中,时间控制在2min左右可获得较好的结果.退火后γ-LiAlO2颗粒质量得到改善,白宝石a面上γ-LiAlO2的质量优于r面上的γ-LiAlO2,两者都出现颗粒长大现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐军	中国科学院上海光学精密机械研究所	290	2418	22.0	34.0
2	周圣明	中国科学院上海光学精密机械研究所	48	298	9.0	16.0
3	彭观良	中国科学院上海光学精密机械研究所	8	63	5.0	7.0
4	李抒智	中国科学院上海光学精密机械研究所	16	113	6.0	10.0
5	刘世良	中国科学院上海光学精密机械研究所	4	28	2.0	4.0
6	王银珍	中国科学院上海光学精密机械研究所	5	97	3.0	5.0