单晶炉真空密闭性能的检验技术

• 作者: 施政
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶炉 真空 检漏
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 190-192
• 页数: 3页
• 分类号: TP20
• 字数: 2326字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2005.01.040

摘要

单晶炉炉室真空密闭性能是衡量单晶炉设备性能好坏的重要因素.本文主要介绍的是在制造单晶炉炉室和屯装配调试过程中,采用不同的工艺循序渐进地对单晶炉真空密闭性能进行检验,从而提高单晶炉设备的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	施政		6	31	2.0	5.0