FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB薄膜各层宽度对其巨磁阻抗效应的影响

• 作者: 丁文 周勇 周志敏 张亚民 王明军 陈吉安 高孝裕
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 巨磁阻抗 FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB 三明治薄膜 微细加工
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 254-257
• 页数: 4页
• 分类号: TM27|O484.4.3
• 字数: 1811字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2005.02.007

摘要

采用射频磁控溅射方法,利用微细加工工艺制备了不同薄膜宽度的三明治结构FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜,在频率1～40MHz下研究了薄膜宽度对多层膜的纵向和横向巨磁阻抗效应的影响.结果表明,三明治结构多层膜的巨磁阻抗效应随薄膜宽度的变化具有显著的影响,当FeCuNbCrSiB层、Cu层宽度分别取1.6 mm、0.8 mm时,GMI%达到最大值-21.226 45%.