Si和GaAs衬底上的ZnTe、CdTe分子束外延材料的晶向倾角

• 作者: 于梅芳 何力 吴俊 巫艳 方维政 王元樟 陈路
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 分子束外延 晶格失配 晶向倾角 孪晶
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 649-652
• 页数: 4页
• 分类号: O472
• 字数: 2794字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2005.04.018

摘要

本文采用X射线双晶衍射二次测量法对φ76mm Si(211)和GaAs(211)B衬底上生长的ZnTe和CdTe外延层的晶向倾角进行了测量,发现对于Si和GaAs衬底,外延层的[211]均绕外延层与衬底的[0-11]复合轴朝[111]倾斜,其晶向倾角与晶格失配呈线性关系;通过实际测量验证了在外延层探测到的[133]峰代表[211]关于[111]旋转180°的[255]孪晶向.