BST薄膜铁电移相器研究进展

• 作者: 余慧春 徐爱兰 惠春
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 微波技术 钛酸锶钡薄膜 铁电移相器 综述 介电性能
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 59-62
• 页数: 4页
• 分类号: TM22|TN623
• 字数: 3892字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2005.03.018

摘要

钛酸锶钡(BST)薄膜因其具有高的介电调谐量,相对低的损耗tgδ 和快的开关速度,在微波移相器的应用中显示出巨大优势.介绍了改善BST薄膜的介电性能的有效方法,衬底材料的选择,以及BST薄膜铁电移相器的结构类型和研究进展.