微型螺旋转子的光驱动计算

• 作者: 刘宇翔 汪飞 祝安定 黄文浩
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光驱动 微型螺旋转子 几何光学模型 优化设计
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 微光学
• 页码范围: 13-16
• 页数: 4页
• 分类号: TH703.8
• 字数: 1493字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2005.03.004

摘要

利用光学力来驱动微型器件是一种新型MEMS驱动方式.在几何光学模型近似下,对用TEM00高斯激光束驱动微型螺旋桨结构的光驱动力和力矩进行了理论计算.光驱动力矩与激光功率成正比,和微器件的结构尺寸以及微器件与工作介质的相对折射率等因素有关,设计微器件时必须同时考虑这三个因素.计算得出激光功率10mW时,作用在螺旋转子上的光学驱动力矩为7.4×10-17 N(m,和文献中实验结果基本一致.该方法可以应用在复杂三维微结构的光驱动计算中,对微型转子进行优化设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄文浩	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	88	768	14.0	23.0
2	汪飞	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	10	54	4.0	7.0
3	祝安定	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	2	16	1.0	2.0
4	刘宇翔	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	4	28	3.0	4.0