金刚石线锯切割大直径SiC单晶

• 作者: 徐现刚 李娟 王继扬 胡小波 蒋民华 陈秀芳 马德营
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石线 SiC 翘曲度
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1575-1577
• 页数: 3页
• 分类号: O782.9
• 字数: 1519字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2005.10.029

摘要

采用金刚石线切割大直径的SiC单晶,研究了金刚石线锯的切割机理和切割参数,给出切割SiC单晶的实验结果.研究了金刚石线的寿命及各切割参数对线径减少量、翘曲度、表面粗糙度的影响.用光学显微镜观察了磨损的金刚石线和切割表面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李娟	山东大学晶体材料国家重点实验室	127	921	17.0	26.0
2	王继扬	山东大学晶体材料国家重点实验室	200	1444	21.0	30.0
3	胡小波	山东大学晶体材料国家重点实验室	67	321	9.0	14.0
4	徐现刚	山东大学晶体材料国家重点实验室	77	407	10.0	16.0
5	马德营	山东大学晶体材料国家重点实验室	3	56	2.0	3.0
6	陈秀芳	山东大学晶体材料国家重点实验室	17	102	5.0	9.0