BST薄膜的膜厚与铁电性能关系研究

• 作者: 杨传仁 符春林 赵莉 陈宏伟 高志强
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 BST薄膜 膜厚 铁电性能
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 15-17
• 页数: 3页
• 分类号: TN384
• 字数: 2042字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2005.06.005

摘要

采用射频磁控溅射法制备了Ba.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,研究了不同膜厚的BST薄膜的介电偏压特性曲线和电滞回线.结果表明,当膜厚从250 nm增加到650 nm时,BST薄膜的?r、?r的电压变化率和最大极化强度分别从195,9%,4.7×10-6C/cm2逐渐增加到1 543,19%,30×10-6C/cm2,而矫顽场强随膜厚的变化较复杂.进一步分析发现,膜厚通过影响矫顽场强和最大极化强度进而影响铁电薄膜的电压非线性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨传仁	电子科技大学微电子与固体电子学院	69	525	11.0	18.0
2	陈宏伟	电子科技大学微电子与固体电子学院	51	360	10.0	15.0
3	符春林	电子科技大学微电子与固体电子学院	19	239	10.0	15.0
4	赵莉	电子科技大学微电子与固体电子学院	6	54	5.0	6.0
5	高志强	电子科技大学微电子与固体电子学院	6	54	5.0	6.0