基于激光自动搜寻的微位移传感系统设计

• 作者: 李婷 解旭辉
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微位移传感系统 自动搜寻法 自动聚焦 激光头 误差信号
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 39-41
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1162字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2005.06.015

摘要

基于激光自动聚焦探测原理研究开发了一种非接触式微位移传感系统.利用光驱内的激光头,根据自动聚焦的原理进行设计,在"S"曲线法的基础上又提出了一种新的测量方法--自动搜寻法.将这2种方法相结合,既可进行大量程的测量,也可进行较小量程内高分辨力的测量.大量程(1.8mm)内的分辨力为2μm,较小量程(200μm)内的分辨力可达0.2μm.试验表明:该系统具有良好的线性度、重复性和动态响应特性，可用来测量复杂物体表面的面形.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	解旭辉	国防科技大学机电工程与自动化学院	44	582	14.0	22.0
2	李婷	国防科技大学机电工程与自动化学院	16	48	4.0	5.0