表面处理对蓝宝石衬底的影响

• 作者: 刘世良 周圣明 彭观良 徐军 李抒智 王银珍 邹军
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 蓝宝石 衬底 表面处理
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 页码范围: 431-434
• 页数: 4页
• 分类号: O78
• 字数: 1037字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2005.03.011

摘要

蓝宝石衬底是目前最为普遍的一种衬底材料,是生长GaN、ZnO材料最常用的衬底.本文用光学显微镜、原子力显微镜(AFM)和高分辨X射线双晶洐射对蓝宝石衬底进行了分析测试,系统研究了经过机械抛光、化学机械抛光、化学腐蚀等表面处理对蓝宝石衬底表面性能的影响.结果表明经过化学机械抛光随后再经腐蚀后的蓝宝石衬底的表面性能最好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐军	中国科学院上海光学精密机械研究所	290	2418	22.0	34.0
2	周圣明	中国科学院上海光学精密机械研究所	48	298	9.0	16.0
3	彭观良	中国科学院上海光学精密机械研究所	8	63	5.0	7.0
4	邹军	中国科学院上海光学精密机械研究所	14	71	5.0	7.0
5	李抒智	中国科学院上海光学精密机械研究所	16	113	6.0	10.0
6	刘世良	中国科学院上海光学精密机械研究所	4	28	2.0	4.0
7	王银珍	中国科学院上海光学精密机械研究所	5	97	3.0	5.0