使用传统工艺实现1.55μm激光器与模斑转换器的单片集成

• 作者: 侯廉平 朱洪亮 王圩
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光器 模斑转换器 光电子集成 光耦合
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 443-447
• 页数: 5页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 2268字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.03.004

摘要

采用传统的光刻和湿法腐蚀工艺制作了1.55μm波长的新型半导体激光器和模斑转换器的单片集成器件.其中激光器采用脊型双波导,模斑转换器采用掩埋双波导结构,水平楔型的有源波导和宽而薄的无源波导同时控制光斑模式大小.实验测得器件的阈值电流为40mA,斜率效率为0.35W/A,水平和垂直方向的远场发散角分别为14.89°和18.18°,与单模光纤的耦合损耗为3dB.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱洪亮	中国科学院半导体研究所光电子研究中心	32	94	6.0	7.0
2	王圩	中国科学院半导体研究所光电子研究中心	47	124	6.0	7.0
3	侯廉平	中国科学院半导体研究所光电子研究中心	3	0	0.0	0.0